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蒸發(fā)鍍膜儀的作用與功能特點
日期：2025-12-06 12:40
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摘要：
蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al、Au等），也可蒸鍍各種氧化物材料。本機設(shè)有4個蒸鍍加熱舟，且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設(shè)備。
蒸發(fā)鍍膜儀功能特點：
真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi)。
采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。
真空腔體設(shè)有1個KF40旁抽閥（直接與前級機械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個CF150閘板, 閥（直接與分子泵相連）、1個KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、5個CF35法蘭（1個安裝電離規(guī)，4個備用，便于,安裝其他設(shè)備）。
在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟。
4個蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動擋板，有效地避免蒸發(fā)時相互污染。
樣品臺安裝在腔體的頂部。
腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀，精度為10?。
可使用循環(huán)水冷機。